1)靈敏度S
光敏器件的靈敏度是指器件輸出電流（或電壓）與入射光通貴（或照度）之比。靈敏度又分為單色靈敏度和積分靈敏度。當某一波長λ的光入射到光敏器件時，器件輸出的光電流Iλ與該波長的入射光通量Φλ（或照度Eλ之比），稱為該器件的絕對單色靈敏度。由于光敏器件對某一波長最為敏感，因此對此波長有最大靈敏度。而對某一波長的絕對單色靈敏度與最大靈敏度之比，稱為相對單色靈敏度。
光敏期間輸出的電流（或電壓）與入射光的總通量（或照度）之比，稱為積分靈敏度。積分靈敏度不僅與光敏器件本身持性有關，而且與光源的輻射持性有關。所以，在測試光敏器件的積分靈敏度時，要標定出光源的輻射條件。
2)光譜響應
光敏器件的單色靈敏度是入射光波長的函數，常用曲線表示。下圖是某一光敏二極管的光譜響應曲線。由圖可見，其短波截止波長和長波截止波長分別為0.4μm和1.1μm，峰值波長（即靈敏度最大的波長）約在0.9μm。其他光敏器件的光譜響應曲線和此曲線有相似之處，但不同種類的光敏器件的光譜曲線的形狀、光譜范圍和峰值波長等均有所不同。

光譜響應曲線
3)頻率響應
當入射到光敏器件的光為明暗交替的交變光時，隨著光的交變頻率不斷增加，光敏器件輸出的交變電流的幅值將逐漸減小。輸出輻值降至最大值0.707倍時所對應的光的交變頻率稱為截止頻率fH。下圖為光敏器件的頻率特性曲線。fH愈大，說明光敏器件響應或檢測快速變化的光信號的能力愈強。

頻率響應曲線
光敏器件的頻率響應也可用響應時間描述。如瞬時地加上穩定光，當輸出值上升至最大值（或飽和值)的某一規定百分數（如90%）時所需的時間即稱為上升時間；瞬時地除去光照，當輸出值下降至最大值的某一規定百分數（如10%）所需的時間稱為下降時間。上升時間和下降時間的長短即反映了光敏器件響應的快慢。
此外，光敏器件的響應也與溫度有關。因此在有些情況下還要考慮其溫度特性。當然，光敏器件的伏安特性也是必須考慮的重要特性。